Atomic layer deposition : principles, characteristics, and nanotechnology applications /
| Κύριος συγγραφέας: | |
|---|---|
| Άλλοι συγγραφείς: | , , |
| Μορφή: | Ηλ. βιβλίο |
| Γλώσσα: | English |
| Έκδοση: |
Salem, Massachusetts : Hoboken, New Jersey :
Scrivener Publishing, LLC ; Wiley,
[2013]
|
| Έκδοση: | 2nd edition. |
| Θέματα: | |
| Διαθέσιμο Online: | Full Text via HEAL-Link |
