Atomic layer deposition of nanostructured materials /
| Συγγραφή απο Οργανισμό/Αρχή: | |
|---|---|
| Άλλοι συγγραφείς: | , |
| Μορφή: | Ηλ. βιβλίο |
| Γλώσσα: | English |
| Έκδοση: |
Weinheim :
Wiley-VCH ;
2011.
|
| Θέματα: | |
| Διαθέσιμο Online: | Full Text via HEAL-Link |
| Φυσική περιγραφή: | 1 online resource (1 volume) |
|---|---|
| Βιβλιογραφία: | Includes bibliographical references and index. |
| ISBN: | 9783527639915 3527639918 9783527639939 3527639934 9783527639922 3527639926 |
| DOI: | 10.1002/9783527639915 |