Glow discharge processes sputtering and plasma etching
| Κύριος συγγραφέας: | |
|---|---|
| Μορφή: | Βιβλίο |
| Γλώσσα: | English |
| Έκδοση: |
New York
John Wiley & Sons
1980
|
| Θέματα: |
| Φυσική περιγραφή: | xv, 406 p. fig., tab. 24 cm |
|---|---|
| ISBN: | 047107828X |
