Μελέτη της κατανάλωσης ισχύος στις εκκενώσεις αίγλης αερίων και εφαρμογή στην εναπόθεση άμορφου υδρογονωμένου πυριτίου - Σπηλιόπουλος, Νικόλαος Σ. (1997)